思卡恩净化工程 无尘室工程 临汾无尘室

复合式ULSI制程大都采用此种型式

复合式

此种方式是为了将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

1．装局部洁净车间：将洁净车间等级10，000~100，000之乱流洁净车间内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

2．净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，临汾无尘室，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

3．净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。

一般洁净区开门方向应是向清洁等级高的方向打开

一般洁净区开门方向应是向清洁等级高的方向打开，缓冲间的清洁等级同高侧等级，门打开方向可均为内开。实际以下：1、由低等级向别开。2、由气压小的向气压大气向开（实际上非常好了解，无尘室工程，仅有这般才可以将门关好呀）。3、消防安全规定通向省外的门，一般都向外开！

因为净化车间门的承受力大而猛，在净化车间门程的固定不动中尤应留意程以及洞边附近的支撑点是不是坚固平稳。一般所提的净化车间门的气体泄露只不过是由所述三种间隙造成的难题。这三种结构间隙中，净化车间门窗大多数一同具备三类结构间隙。一类是樘的组成拼凑和樘与净化车间门洞间的安裝间隙。因此在净化车间门的设计方案中针对主题活动间隙的密封性解决是更加突显的难题。

净化车间门扇的打开频次远比较经常，而净化车间门扇附近间隙的工作中标准也非常复杂，以双扇推拉窗净化车间门为例子，无尘室装修，净化车间门的打开扇更高，并且樘与洞边的融合经室内装修后较为隐敝，装门铰链的一边则因扇的转动而对膛的施力方向与别的三边不一样。打开扇与扇料互相钢筋搭接的槽孔规格与槽孔方式难题，是主题活动间隙密封性设计方案小务必留意的关键难题。村局、窗户所占占比也不一样。因此净化车间门、窗闭采用的气密性对策都不完全一致。

净化车间的门一般向压力差高的打开，无尘室装饰，可是清理间和污染较高屋子一般向屋子里侧打开。为了更好地好了解，把过道也假定成屋子，那麼，门的开向，一般全是，开门的方向朝较整洁的一个。尽可能开向压力差高的方向，那样即便门锁坏掉都不至被吹起毁坏洁净度等级，对于特别要求的屋子自身酌情考虑

过道得话尽可能箱屋子里侧开避免开门的情况下过道有些人根据立即给拍在哪了。

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